精密超精密加工技术是现代高技术战争的重要技术支撑
超精密加工技术对国防武1器装备的发展具有重大影响，掌握超精密加工技术并具备相应的生产能力是国防工业涉入现代国防科技和武1器装备尖端技术领域的必要手段， 20世纪90年代初，美国就将其列为21项美国国防关键技术之一。
超精密加工技术的发展对飞机、导1弹等惯性器件的发展做出了突出贡献。美国1962年就研制成功了激光陀螺，但因未突破硬脆材料的陀螺腔体和反射镜的超精密加工技术，使激光陀螺在飞机上的应用整整延迟了20年，超精密车削、磨削、研磨以及离子束抛光等工艺的相继突破才使激光陀螺投入了批生产，并将陀螺性能指标提高了2个数量级。半球谐振陀螺仪中半球谐振子采用超精密振动切削工艺达到了精度和性能指标。激光加工和离子刻蚀等超精密加工技术是制造硅微型惯性传感器的重要工艺，这将对飞机和导1弹惯性系统的小型化起重要作用。采用超精密铣削工艺及超精密研抛工艺提高了惯性传感器中挠性件的精度和尺寸稳定性。此外，飞控系统中的液压零件采用超精密磨削及研磨抛光、超精密清洗工艺，对提高飞机的可靠性、可维修性和寿命起到了至关重要的作用。
高精密孔珩磨技术
对于壳体、阀套、底座等零件精密配合孔，可实现高精密加工的一种方法是采用定尺寸珩磨，相对于涨刀式珩磨，刀具类似于手工修研用研磨套，加工中不涨缩（尺寸一定）、芯轴不开槽（可提高刚性、利于直线度提高），尺寸余量顺序逐渐去除（也叫顺序珩磨法），圆柱度可达0.002mm以下、粗糙度ra0.05、尺寸一致性0.002mm以内。技术包括孔加工余量分配、浮动夹具设计、加工路径及参数调整等内容。
国内真正系统地提出超精密加工技术的概念是从20世纪80年代~90年代初，由于航空、航天等军1工行业的发展对零部件的加工精度和表面质量都提出了更高的要求，这些军1工行业投入了资金支持行业内的研究所和高校开始进行超精密加工技术基础研究。由于当时超精密加工技术属于军1用技术，无论从设备还是工艺等方面，国外都实施了技术封锁，所以国内超精密加工技术的开展基本都是从超精密加工设备的研究开始。由于组成超精密加工设备的基础是超精密元部件，包括空气静压主轴及导轨、液体静压主轴及导轨等，所以各家单位也正是以超精密基础元部件及超精密切削加工用的天然金刚石刀具等为突破口，并很快就取得了一些进展。哈尔滨工业大学、北京航空精密机械研究所等单位陆续研制了超精密主轴及导轨等元部件，并进行了天然金刚石超精密切削刀具刃磨机理及工艺研究，同时陆续搭建了一些结构功能简单的超精密车床、超精密镗床等超精密加工设备，开始进行超精密切削工艺实验。

---

无锡鑫云精密机械有限公司

13646173111
中国 无锡