| 加工定制是 | 品牌德国centrotherm |
| 类型卧式热反应系统 | 炉膛最高温度1300℃ |
| 工作温度>200℃ | 外形尺寸150-200mm |
| 是否跨境货源是 |
一、 产品简介
e1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点
可用作常压cvd、lpcvd、pecvd、扩散、氧化、退火等工艺过程，以优良的品质、极小的体积、低成本的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
二、 工艺特性
l 常压工艺
l lpcvd工艺
l pecvd工艺
三、 产品特性
● ***多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；
● 清洁的自动载舟系统；
● 反应炉独立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力；
● 先进的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；
设备参数：
反应炉使用晶片尺寸：150mm（***多50片）或200mm（***多25片）
加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；
温控范围：200℃～1300℃；
北京亚科晨旭科技有限公司
侯先生
18363769781
北京 朝阳区 酒仙桥路14号兆维大厦6层616室