多轴功能
ant130-r系列的设计能够同aerotech ant直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供定位精度，稳定性和小尺寸性能等特性。
多轴功能
ant130-r系列的设计能够同aerotech ant直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供定位精度，稳定性和小尺寸性能等特性。
als5000wb 直线电机平台
1.宽底座可以承受较大的偏移负载
2.强大的双直线电机驱动
3.坚硬涂层台面和导轨罩
4.完全整合电缆管理系统
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
asl5000-1476-a
asl5000-1477-a
asl5000-1478-a
asl5000-1479-a
asl5000-1480-a
asl5000-1481-a
asl5000-1482-a
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asl5000-1488-a
asl5000-1489-a
asl5000-1490-a
asl5000-1491-a
ant-20g
? 非接触、无接头、无摩擦型直驱，适
用于零间隙或零磁滞情形
? 高速（150 度/秒）
? 高分辨率（0.05 弧秒）
? 优异的静态定位稳定性
? 20° 大旋转角度
? 两个摇台采用正交安装方式，可围绕
同一点进行旋转
? 免维护
? 紧凑型设计

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北京微纳通科技有限公司

18923727591
中国 深圳